光刻机：首台/套国产氟化氪光刻机和氟化氩光刻机开始推广应用？

工信部印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》中，包含国产氟化氪光刻机（110nm），和氟化氩光刻机（65nm）的内容。

来源：工业和信息化部装备工业二司